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四探針測(cè)試儀取樣與數(shù)據(jù)處理方法探討

來源：時(shí)間：2024-01-31 09:55:03 瀏覽：5056次

四探針測(cè)試儀取樣與數(shù)據(jù)處理方法探討

四探針測(cè)試儀是一種多用途的綜合測(cè)量設(shè)備，主要用于測(cè)試半導(dǎo)體材料的電阻率及方塊電阻（薄層電阻）。

一、取樣方法

1. 探針頭的更換與調(diào)整

在取樣前，需要根據(jù)被測(cè)試樣品的特性選擇合適的探針頭；輕輕擰開探針頭子，然后小心將銅片拉出，記住七片絕緣片與銅片之間的位置，將斷針從銅片卡口座里取下即可，在更換探針頭時(shí)，一定要注意不能將銅片取下時(shí)的位置錯(cuò)亂；銅片位置按照航空頭四芯1234接線綠紅黃黑的順序一字排列，并且銅片之間按照寬窄順序互相交叉排列，以免短接。

2. 探針頭的校準(zhǔn)

在進(jìn)行測(cè)試前，需要對(duì)探針頭進(jìn)行校準(zhǔn)；校準(zhǔn)的方法是通過主機(jī)或計(jì)算機(jī)軟件來調(diào)整探針頭的間距和力度，確保探針頭能夠準(zhǔn)確地接觸到樣品表面。

二、數(shù)據(jù)處理

1. 測(cè)試數(shù)據(jù)的獲取

四探針測(cè)試儀采用四點(diǎn)探針組合法進(jìn)行測(cè)量；在測(cè)試時(shí)，通過算法計(jì)算分析獲得數(shù)據(jù)，在晶圓測(cè)試中，方阻或電阻率是非常重要的參數(shù)指標(biāo)；儀器的設(shè)計(jì)充分考慮了復(fù)雜的計(jì)算，把算法及可能的問題都預(yù)置到程序中，從而實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單的一鍵操作。

2. 測(cè)試數(shù)據(jù)的處理與分析

測(cè)試數(shù)據(jù)可以通過四探針測(cè)試儀主機(jī)直接顯示；此外，也可以與計(jì)算機(jī)相連接，通過四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中進(jìn)行分析，以表格、圖形的形式直觀地記錄、顯示出來，用戶可以將數(shù)據(jù)在電腦中保存或打印，以備日后參考和查看；此外，還可以將數(shù)據(jù)輸出到Excel中，進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。

3. 測(cè)試數(shù)據(jù)的校正

由于測(cè)試過程中可能會(huì)受到各種因素的影響，如溫度、濕度等，因此需要對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行校正；校正的方法可以采用標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行標(biāo)定，或者通過計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行自動(dòng)校正。

三、注意事項(xiàng)

1. 設(shè)備的保養(yǎng)與維護(hù)

為了保證四探針測(cè)試儀的準(zhǔn)確性和使用壽命，需要定期進(jìn)行保養(yǎng)和維護(hù)；保養(yǎng)的內(nèi)容包括保持設(shè)備和計(jì)算機(jī)的清潔、衛(wèi)生，預(yù)防高溫、過濕、灰塵、腐蝕性介質(zhì)、水等浸入機(jī)器或計(jì)算機(jī)內(nèi)部，定期檢查，保持零件、部件的完整性等。

2. 操作人員的要求

操作四探針測(cè)試儀的人員需要具備一定的專業(yè)知識(shí)和操作技能；在使用前，應(yīng)對(duì)操作人員進(jìn)行培訓(xùn)，確保其能夠正確、熟練地操作設(shè)備。

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