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    納米離子探針（Nano-SIMS）

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    納米離子探針（Nano-SIMS）

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    項目介紹

    Nano-SIMS（Nanoscale Secondary Ion Mass Spectrometry，納米二次離子質譜）是一種超高空間分辨率的“化學＋同位素”成像技術。它用極細的離子束轟擊樣品表面，濺射出二次離子，再用磁質譜對離子進行質量分離和計數，從而給出元素或同位素在納米—亞微米尺度的二維或三維分布圖。

    NanoSIMS 50L 在高橫向分辨率下優化了SIMS分析性能。該儀器的開發借鑒了離子束和二次離子提取的同軸光學設計以及具有多接收功能的原始扇形磁質量分析儀。

    NanoSIMS 50L能同時提供以下關鍵性能：

    1. 高分析空間分辨率（低至50納米）

    2. 高靈敏度（元素成像中的ppm）

    3. 高質量分辨率（M/dM）

    4. 并行采集七種不同質荷比離子

    5. 快速采集（直流模式，不發生脈沖）

    6. 能夠分析電絕緣樣品經過改良，現在可實現千分之十幾的同位素比值再現性。

    樣品要求

    1. 一般要求樣品無磁性，無法測試磁性樣品；

    2. 支持多種樣品尺寸，具體請聯系技術負責人；

    3. 適合微區元素（Li~U）成像和黃鐵礦的S同位素測試；

    4.兩個可切換的高強度一次離子源：Cs+ 和O-/O2+ 。

    項目案例
    常見問題
    1、離子后面帶的正或者負符號，為什么都是正一價或負一價？

    離子帶正或負的符號只是代表正離子或者負離子，與價態無關。

    2、在TOF-SIMS測試中，如果需要同時測試正負離子，那么需要分別使用不同的樣品進行測試嗎？可以在同一個樣品上選取不同的區域進行測試嗎？

    如果是測試質譜和二維成像，因為沒有損傷，可以選取同一個位置進行測試，且采集完正離子后可以繼續采集負離子信息；如果是做深度分析，則可以在同一個樣品上選取不同的區域，分別測試正離子和負離子。

    3、TOF-SIMS可以測離子含量嗎？

    不能。TOF-SIMS靜態二次離子質譜測試離子強度，為定性測試，不能定量。

    4、TOF-SIMS中，質譜測試濺射厚度是多深？

    一般濺射厚度為2到3層原子，小于1nm。

    納米離子探針（Nano-SIMS）

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