免费观看黄一级视频,可以免费在线看黄的网站,欧美视频日韩视频,精品国产黄a∨片高清在线

    預存
    Document
    當前位置：文庫百科 ? 文章詳情
    薄膜應力測試儀（激光曲率法） 測試原理及樣品要求
    來源： 時間：2025-10-10 15:51:34 瀏覽：1694次

    薄膜應力測試儀（激光曲率法） 測試原理及樣品要求


    在半導體、微電子、光伏及新材料等領域，沉積在基片上的薄膜其內在應力是決定器件性能與可靠性的關鍵參數。過大的應力會導致薄膜起皺、開裂甚至與基片剝離，直接影響產品的成品率和壽命。因此，精準、高效地測量薄膜應力至關重要。薄膜應力測試儀，特別是基于激光曲率法的設備，已成為該領域的主流測量工具。本文將以FST5000薄膜應力儀為例，詳細介紹其測試原理與樣品要求。

    薄膜應力測試儀（激光曲率法）

    一、 核心測試原理：從激光掃描到Stoney公式

    激光曲率法薄膜應力測試儀的核心原理，建立在經典的基片彎曲法和Stoney公式之上，并通過先進的激光掃描技術實現了高精度的非接觸測量。

    基本原理 - Stoney公式： 當一層薄膜沉積在基片（如硅晶圓）上時，由于薄膜與基片之間熱膨脹系數的差異或本征應力的存在，會使原本平整的基片-薄膜復合結構發生微小的彎曲。Stoney公式揭示了這種彎曲程度與薄膜平均應力之間的定量關系。其簡化形式為： σ = (E_s * t_s2) / [6(1-ν_s) * t_f * R] 其中：

    σ為薄膜的平均應力；

    E_s和 ν_s分別是基片的楊氏模量和泊松比；

    t_s和 t_f分別是基片和薄膜的厚度；

    R是基片彎曲后的曲率半徑。

    激光曲率法的實現： FST5000儀器通過一束高精度的激光束，以非接觸的方式快速掃描樣品表面。測量時：

    掃描與探測：激光器發射的激光束照射到樣品表面，其反射光被高靈敏度的位置探測器接收。

    測量弓高與輪廓：當樣品存在彎曲時，掃描過程中不同位置的反射光點在探測器上的位置會發生系統性的偏移。儀器通過捕捉這些偏移量，精確計算出樣品表面各點的弓高（相對于參考平面的高度），從而重建出整個樣品的三維輪廓形貌。

    計算曲率與應力：系統對測得的三維輪廓進行擬合，計算出樣品整體的曲率半徑（R）。最后，將已知的基片參數（E_s, ν_s, t_s）、用戶提供的薄膜參考厚度（t_f）以及測量得到的曲率半徑（R）代入Stoney公式，即可自動得出薄膜的應力值。

    這種方法結合了光學測量的高精度、高速度和非接觸優點，使其特別適合于易碎、高價值的晶圓類樣品的無損檢測。


    二、 薄膜應力測試儀樣品要求

    為了確保測量的準確性和儀器的正常操作，對送測樣品有以下基本要求：

    樣品尺寸：

    最大尺寸： 8英寸（直徑）。儀器完美適配標準8英寸晶圓。

    兼容尺寸： 向下兼容6英寸、4英寸、3英寸、2英寸、1英寸等常見規格的圓形晶圓。

    最小尺寸： 樣品最小尺寸應大于 15mm × 15mm。對于非標準或破碎的小樣品，只要滿足此最小尺寸要求，亦可進行測量。

    樣品厚度：

    對于基片（如硅片）的厚度，目前沒有嚴格的限制。通常所說的晶圓或承載薄膜的基片，厚度范圍一般在幾百微米至幾個毫米之間，儀器均能正常測量。

    薄膜本身厚度通常在微米級甚至納米級，儀器通過測量基片的彎曲來反算薄膜應力，因此對薄膜厚度無直接限制。

    信息提供：

    雖然儀器不直接測量薄膜厚度，但需要用戶提供薄膜的大概厚度值（t_f）。此參數是使用Stoney公式計算應力的必要輸入值，用于評估和測試的參考，對結果的準確性至關重要。


    總結

    FST5000薄膜應力測試儀憑借其基于激光曲率法的先進測量原理，提供了快速、精準、非接觸的應力分析方案。它通過高精度激光掃描獲取樣品的曲率變化，并依據經典的Stoney公式計算出薄膜應力，廣泛應用于半導體制造、新材料研發和質量控制等領域。

    評論 / 文明上網理性發言
    12條評論
    全部評論 / 我的評論
    最熱 /  最新
    全部 3小時前 四川
    文字是人類用符號記錄表達信息以傳之久遠的方式和工具。現代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產生書面文字，很多小語種，有語言但沒有文字。文字的不同體現了國家和民族的書面表達的方式和思維不同。文字使人類進入有歷史記錄的文明社會。
    點贊12
    回復
    全部
    查看更多評論
    相關文章

    電化學實驗基礎之電化學工作站篇 （二）三電極和兩電極體系的搭建 和測試

    2021-01-20

    這年頭還有這么高發文量的國產一區？簡直材料學人的夢中情刊！

    2022-12-14

    循環伏安法的基本原理與實驗操作

    2021-01-22

    電化學實驗基礎之電化學工作站篇 （一）電化學工作站的基本功能和使用

    2021-01-20

    紫外可見漫反射光譜的基本原理與應用

    2021-01-22

    電子順磁共振波譜儀(下)： 波譜信息解讀

    2021-01-21

    項目推薦/Project
    橢偏儀

    橢偏儀

    薄膜應力測試儀

    薄膜應力測試儀

    熱門文章/popular

    基礎理論丨一文了解XPS（概念、定性定量分析、分析方法、譜線結構）

    手把手教你用ChemDraw 畫化學結構式：基礎篇

    晶體結構可視化軟件 VESTA使用教程（下篇）

    【科研干貨】電化學表征：循環伏安法詳解（上）

    電化學實驗基礎之電化學工作站篇 （二）三電極和兩電極體系的搭建 和測試

    【科研干貨】電化學表征：循環伏安法詳解（下）

    微信掃碼分享文章
    永久免费黄色片| 9l视频自拍蝌蚪9l视频成人| 亚洲91网站| 在线视频一区二区免费| 国产精品美女视频网站| 免费在线播放av| 国产女人aaa级久久久级 | 在线免费观看不卡av| 夜先锋av资源| 91精品久久久久久久久久久| 97精品久久人人爽人人爽| 欧美天堂一区二区| 亚洲一区二区三区在线观看视频| 三区四区不卡| av一区二区三| 日韩免费观看av| 宅男在线观看免费高清网站| 亚洲欧美日韩另类| 亚洲美女性生活| 一区二区三区资源| 久久噜噜色综合一区二区| 国产日产欧美精品一区二区三区| 欧美中日韩在线| avav成人| 国产极品尤物在线| 成人永久aaa| 免费观看日批视频| 国产精品 欧美精品| 国产主播在线观看| 一区二区三区四区日本视频| 亚洲一区二区免费| 国产乱码午夜在线视频| 日本免费不卡一区二区| 樱桃国产成人精品视频| 第一sis亚洲原创| 欧美在线中文| 麻豆91蜜桃| 欧美天天在线| 国产调教在线观看| 久久久久国产精品一区二区| 一级二级黄色片| 日韩手机在线导航| 毛片在线播放网站| 亚洲v日本v欧美v久久精品| www.一区二区三区.com| 成年人视频在线免费| 免费高清视频在线观看| 丁香五月缴情综合网| 中文字幕av久久爽一区| 亚洲欧美一区二区三区四区| 不卡的看片网站| xxav视频| 日日碰狠狠躁久久躁婷婷| 日韩视频一区二区三区在线播放 | 国产高清视频网站| 国产精品99久久久久久www| www.91| 不卡一区二区在线| 二区在线观看| 亚洲天堂色网站| www.青青青| 无码人妻少妇伦在线电影| 亚洲欧洲日韩一区二区三区| 成人午夜三级| 久久久久久成人网| 久久精品视频在线| 日本a人精品| 精品乱码一区| 欧美午夜三级| xxxx69·hdxxxxx| 久久精品国产一区二区三区日韩| 成人免费淫片免费观看| 日本黑人久久| 在线亚洲自拍| 狠狠色噜噜狠狠狠888奇米| 116极品美女午夜一级| 亚洲成色777777在线观看影院| 国产精品秘入口| 国产色视频在线| 国产富婆一区二区三区| 国产美女视频一区二区| 日韩欧美性视频| 在线免费观看一区| 亚洲女同二女同志奶水| 黑人狂躁日本妞一区二区三区 | 亚洲av成人精品一区二区三区在线播放| 亚洲成人资源网| 国产成人精品久久一区二区小说 | 伊人色**天天综合婷婷| 亚洲 欧美 中文字幕| 3atv在线一区二区三区| 顶级嫩模一区二区三区| 国产91在线视频观看| 久久艳片www.17c.com| 国产视频二区在线观看| 一本加勒比波多野结衣| 欧美中文字幕一区二区三区亚洲| 亚洲午夜精品网| 黄色网址电影| 99精品全国免费观看| 四虎永久在线精品免费一区二区| 久久国产精品99国产| 精品人妻一区二区三区浪潮在线 | 麻豆精品国产传媒| 久久国内精品视频| 国产a级免费视频| 久久精品香蕉视频| 九九热r在线视频精品| 97se亚洲国产一区二区三区| 黄色av一区二区| 国产suv精品一区二区| 亚洲一区二区三区四区在线观看 | 中国女人内谢69xxx视频| 99999精品视频| 欧美一级高清片| 欧美在线免费一级片| 影音先锋男人在线| 国产精品视频白浆免费视频| 美女网站在线免费欧美精品| 免费91视频| 人妻丰满熟妇aⅴ无码| 欧美日本国产一区| 成人性生交大片免费看午夜| 国产高清视频一区三区| 亚洲视频每日更新| 2021av网站| 黑森林av导航| 午夜久久久影院| 国产成人免费视频网站视频社区 | 日日骚av一区| 国产视频在线观看视频| 欧美日韩综合另类| 视频一区二区三区中文字幕| 欧美专区日韩专区| 一本色道久久综合亚洲精品不卡| yy4480电影网| 福利在线小视频| 欧美a∨亚洲欧美亚洲| 亚洲欧美日韩国产中文| 丰满岳乱妇一区二区三区| 免费黄色网网址| 日本一区二区久久精品| 欧美大片免费久久精品三p| 成人情趣视频网站| 快射视频在线观看| 黄色在线免费观看| 精品一区久久久久久| 中文字幕精品久久| 精品在线亚洲视频| 午夜视频在线看| 全部av―极品视觉盛宴亚洲| 久久久久se| 亚洲美女性视频| 香蕉影视欧美成人| 成人av在线看| 婷婷中文字幕一区| 丰满人妻一区二区三区四区| 久久色免费在线视频| 一区二区三区日韩在线观看| 在线一区电影| 久久爱www.| 深夜福利网站| 少妇av片在线观看| 97视频在线免费播放| 久久亚洲精品一区| 欧美丰满嫩嫩电影| 国产精品腿扒开做爽爽爽挤奶网站| www·91·com| 天天操天天干天天| 在线观看17c| 久久久久久欧美| 久久久99精品久久| 精品国产18久久久久久洗澡| 色偷偷亚洲第一成人综合网址| 精品少妇久久久久久888优播| 视频二区一区| 97成人精品区在线播放| 亚洲视频综合在线| 久久久精品免费免费| 国产视频一区欧美| 高清精品xnxxcom| 精品国产一区二| 黄色网在线看| 在线网址91| 麻豆视频网站在线观看| 日本一线产区和二线产区| 182在线观看视频| 免费在线观看亚洲视频| 日韩精品高清在线| 久久久久看片| 奇米色777欧美一区二区| 日韩中文首页| 伊人久久婷婷| 午夜在线视频| 白虎精品一区| 777片理伦片在线观看| 日本少妇吞精囗交| 污污内射在线观看一区二区少妇| 白白操在线视频| 91免费在线视频网站|
    +

    你好，很高興為您服務！

    發送